Linde Хятадын Шанхай хотод шинэ өндөр цэвэр азотын генераторыг эхлүүлж байгаагаа зарлав. Linde нь GTA Semiconductor ваффер үйлдвэрлэх үйлдвэрт хэт өндөр цэвэршилттэй үйлдвэрийн хий нийлүүлдэг. Эдгээр хэт өндөр цэвэршилттэй үйлдвэрлэлийн хийд азот, хүчилтөрөгч, аргон, нүүрстөрөгчийн давхар исэл, шахсан хуурай агаар орно.

Хагас дамжуулагч ба FPD үйлдвэрлэлийн нийлүүлэлтийн сүлжээг хангадаг ЮНБОШИ нь арав гаруй жилийн турш чийгшил, температурын хяналтын шийдлүүдийг тэргүүлж байна. Хуурай шүүгээ нь мөөгөнцөр, мөөгөнцөр, хөгц, зэв, исэлдэлт зэрэг чийг, чийгшилтэй холбоотой гэмтлээс бүтээгдэхүүнийг хамгаалахад ашиглагддаг. Таны тогтоосон чийгшилд хүрэхийн тулд 30 минут зарцуулдаг. Чийгшүүлэхэд богино хугацаа шаардлагатай бол азотын генератор бүхий хатаах шүүгээг сонгож болно. Цаашилбал, азотын генератор нь антиоксидантыг хэрэгжүүлж чаддаг. ЮНБОШИ нь эм, электрон, хагас дамжуулагч, сав баглаа боодлын зах зээлд чийгшлийн хяналтын технологио судалж, хөгжүүлэхэд гол анхаарлаа хандуулдаг.